晶体取向（偏切角）: +/-3°
横向尺寸测量: 按较小侧
激光切缝: 3°
横向公差: +0.2/-0 mm
单面粗糙度Ra: 抛光，Ra < 30 nm（{100}面）
双面粗糙度Ra: 抛光，Ra < 30 nm（{100}面）
厚度公差: +0.2/-0 mm
厚度尺寸: 0,3 mm
硼浓度 [B]: <800 ppb
氮浓度 [N]: <800 ppb
边缘: 激光切割
边缘特征: < 0.2 mm
边缘取向: <100>边
面取向: {100}面
部门性: 多部门