晶体取向（偏切角）: +/-3°
横向尺寸测量: 按较小侧
激光切缝: 3°
横向公差: +0.2/-0 mm
单面粗糙度Ra: 抛光，Ra < 30 nm
双面粗糙度Ra: 研磨，Ra < 250 nm
厚度公差: +/- 0.05 mm
硼浓度 [B]: 30-50 ppm
氮浓度 [N]: <800 ppb
边缘: 激光切割
边缘特征: < 0.2 mm
边缘取向: <100>边
面取向: {100}面
部门性: 朝向 (100), 111区